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6-16
由于影響涂膜的主要因素有涂布速度以及施加在自動涂膜機上的壓力等,因而由人工涂出的涂層經(jīng)常出現(xiàn)不當,尤其是不同人之間產(chǎn)生的差異就更大了,這就給比較樣板之間的測試結果帶來了困難。涂膜器是為了使操作者方便地在不同底材上涂布出精確的濕膜而精心設計的,大大提高了涂膜的重現(xiàn)性。自動涂膜機的產(chǎn)品特點:1、本設備采用無級變速電動機,精確控制涂布速率。2、采用橫桿推動濕膜制備器,對濕膜制備器的外形尺寸無特殊要求。3、采用內(nèi)置真空泵,方便本設備的攜帶及搬運。4、放置在涂布器底座的左側邊緣的不銹鋼...
6-9
勻膠機是在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備,膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。該設備主要用于晶片涂光刻膠,有自動、手動和半自動三種工作方式。勻膠機的工作過程:送片盒中的晶片,自動送到承片臺上,用真空吸附,在主軸電機的帶動下旋轉,轉速100-9900轉/分(±10轉/分),起動加速度可調(diào)。每道程序的持續(xù)時間,轉速、加速度、烘烤溫度、烘烤時間、預烘時間等工藝參數(shù)均可通過編程控制。勻膠機有一個或多個滴膠系統(tǒng),可...
6-1
小型涂膜機的使用前準備:機器開箱,有三部分組成:整機、刮刀組件、電源線選配件:烘干系統(tǒng)、真空系統(tǒng)1、將機器木箱及紙箱小心拆開,嚴禁倒置敲砸,將機器平穩(wěn)放在承重平面上。2、檢查所有外觀部分,保證無損傷變形,松動。3、將刮刀部分編號:2與整機分開放置,檢查刮刀,同時旋轉數(shù)顯表左右調(diào)節(jié)鈕,觀察刀體是否能上下自如活動,確認后,打開數(shù)顯開關,調(diào)到MM單位,調(diào)試清零鍵等。小型涂膜機的開機調(diào)試:1、在確認前兩步后,插上220V電源。2、按下機器面板上電源按鍵,綠燈會亮起,會聽到一聲電機通電...
5-26
自動顯影勻膠機采用進口旋轉馬達,通過精準定位系統(tǒng),輔以皮帶傳送,實現(xiàn)光刻膠的自動涂覆,前烘。旋轉速度達6000rpm,*加工片數(shù)多達10000片以上。自動勻膠具有加工速度快,涂覆均勻性好,節(jié)省光刻膠等特點。設備具有操作簡單,維護量小等特點。自動顯影勻膠機的產(chǎn)品特點:1、設備采用高效機械手,重復定位精度高、產(chǎn)能高,自動完成勻膠、顯影工藝;2、配備烘烤及冷卻單元,工藝參數(shù)數(shù)字化檢測控制,自由編制、修改、儲存、調(diào)用工藝程序;3、故障、生產(chǎn)工藝參數(shù)等記錄等可長期保存?zhèn)洳椋?、操作簡便...
5-17
勻膠機的原理是在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉速度及時間有關。選擇勻膠機需要考慮以下三個方面:1、旋轉速度轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤勻膠機圖冊差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的大部分低端勻膠機只能提供轉速范圍,并不能標定實時的轉速。2、真空吸附系統(tǒng)的構造真空泵一定要無油的,...
5-9
實驗室涂膜機的操作方法:一、使用前準備1、將機器木箱及紙箱小心拆開,嚴禁倒置敲砸,將機器平穩(wěn)放在承重平面上。2、檢查所有外觀部分,保證無損傷變形,松動.3、將刮刀部分編號:2與整機分開放置,檢查刮刀,同時旋轉數(shù)顯表左右調(diào)節(jié)鈕,觀察刀體是否能上下自如活動,確認后,打開數(shù)顯開關,調(diào)到MM單位,調(diào)試清零鍵等。二、開機調(diào)試1、在確認前兩步后,插上220V電源2、按下機器面板上電源按鍵,綠燈會亮起,會聽到一聲電機通電產(chǎn)生的脈沖音3、輕按開始按鍵,推力桿編號:3會向右移動,然后會折返停留...
4-25
臺式勻膠機適合半導體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽板等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。臺式勻膠機的設備特點:1、該設備采用先進技術,使用進口配件使高轉速加速度更加穩(wěn)定,控制更加精確.電機采用新型直流永磁電機抗電磁干擾。2、定子和轉子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵磁電流,轉子用開關電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速*得多,轉速在1000~8000轉/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。在未取得真空的狀態(tài)不會轉到,保證了使用的可靠性。3、本勻膠...
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