臺(tái)式勻膠機(jī)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽板等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。
臺(tái)式勻膠機(jī)的設(shè)備特點(diǎn):
1、該設(shè)備采用先進(jìn)技術(shù),使用進(jìn)口配件使高轉(zhuǎn)速加速度更加穩(wěn)定,控制更加精確.電機(jī)采用新型直流永磁電機(jī)抗電磁干擾。
2、定子和轉(zhuǎn)子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵(lì)磁電流,轉(zhuǎn)子用開關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速*得多,轉(zhuǎn)速在1000~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。在未取得真空的狀態(tài)不會(huì)轉(zhuǎn)到,保證了使用的可靠性。
3、本勻膠機(jī)有兩個(gè)轉(zhuǎn)速.在啟動(dòng)之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào)。
4、本勻膠機(jī)測(cè)速采用光電的辦法,在光電測(cè)速盤的邊上有三個(gè)缺口,分布于盤的周圍,盤邊的下面安裝有光電開關(guān),光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產(chǎn)生光電脈沖,測(cè)速盤旋轉(zhuǎn)一周,產(chǎn)生三個(gè)脈沖.閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為兩秒。
5、"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾個(gè)勻膠機(jī)工作,提高了效率。
6、勻膠機(jī)的定時(shí)功能由時(shí)基電路556來完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個(gè)勻膠時(shí)間。
7、智能型調(diào)節(jié)勻膠時(shí)間,時(shí)間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘。
8、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。