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簡(jiǎn)要描述:全新外觀設(shè)計(jì),適配實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)操作*進(jìn)的設(shè)計(jì)理念,模塊化設(shè)計(jì)可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制 可實(shí)現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制配載精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng),提高實(shí)驗(yàn)精度及重復(fù)性
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品牌 | LEBO/雷博 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子 |
產(chǎn)品特點(diǎn)
全新外觀設(shè)計(jì),適配實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)操作,讓實(shí)際操作更加順手
*進(jìn)的設(shè)計(jì)理念,模塊化設(shè)計(jì),參考人性化設(shè)計(jì)理念
可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷
支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制
可實(shí)現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制
配載精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng),提高實(shí)驗(yàn)精度及重復(fù)性
產(chǎn)品參數(shù)
轉(zhuǎn)速范圍:20-10000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率:±1rpm
加速度可調(diào)范圍:20-50000rpm/s
單步時(shí)長(zhǎng):3000s
時(shí)間分辨率:0.1s
適用基片尺寸:4/6/8寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓
去邊精度:去除晶圓邊緣3±0.5mm
可添加背洗功能(根據(jù)客戶需求而定)
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